VOCs废气处理工艺流程通常包括废气预处理、主体处理以及后处理等环节。具体来说，首先会对废气进行预处理，去除其中的颗粒物、水汽、酸性气体等，通过过滤、湿法洗涤、干法洗涤等方式实现。接着进入主体处理阶段，可能包括废气催化氧化、废气脱硫、废气脱硝等步骤，利用催化剂将废气中的有机物氧化成二氧化碳和水，同时脱除硫氧化物和氮氧化物等有害物质。最后，对处理过程中产生的二次污染物进行控制和处理，确保最终排放的废气符合环保标准。

VOCs废气处理方法则多种多样，主要包括回收法和消除法两大类。回收法主要有冷凝法、活性炭吸附法、吸收法及膜分离技术，这些方法主要用于回收废气中的有价值物质。消除法则包括热氧化、催化燃烧法、等离子体技术、生物降解法及光催化降解法等，这些方法主要用于将废气中的有害物质转化为无害物质。

至于VOCs废气处理设备，市面上有多种类型可供选择。例如，UV光解催化氧化设备利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链与臭氧发生反应生成低分子化合物，如CO2、H2O等，具有投资费用低、适用范围广、净化效率高等优点。等离子废气处理设备则利用低温等离子体产生的高化学活性粒子与废气中的污染物质发生反应，转化为无害物质。活性炭吸附法则通过活性炭的多孔结构吸附废气中的有机物，实现废气的净化。此外，还有冷凝器、吸收塔、膜分离设备等用于回收和处理VOCs废气。

总的来说，VOCs废气处理工艺流程、方法和设备多种多样，选择适合的方案需要综合考虑废气特性、处理效率、运行成本、环保要求等因素。在实际应用中，应根据具体情况定制废气处理方案，以实现最佳的废气治理效果。